产品详情
指标编号 指标值
★ 1 Hezui小可检漏率
（吸枪模式） <5×10-12 mbar l/s
★ 2 Hezui小可检漏率
（喷枪模式） <5×10-8 mbar l/s
★ 3 可检气体 4He, 3He, H2
★ 4 内部He检测漏率 10-7 mbar l/s
★ 5 测漏范围 10-12-1 mbar l/s
★ 6 启动时间 <=3 min
★ 7 响应时间 <=0.5 s
★ 8 检漏口对He抽速 2.5 l/s
★ 9 zui大进口压力 25 mbar
★ 10 前级泵 单级旋片泵 5m3/h
氦质谱检测仪 普发
