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大气机械手

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更新时间:2021-02-01

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产品详情

    晶圆搬运系列大气机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责大气端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。本系列大气机械手采用轻量、高刚性手臂、高精度、高性能的AC伺服电机和谐波减速器,可实现高速平稳的运行。该机器人满足洁净环境运动件的润滑要求,保证机器人长期平稳运行,并对洁净环境无影响。采用新松公司具有的网络型机器人控制器进行控制,具有结构紧凑、组态灵活和控制性能高的特点,可适应不同的机器人本体,实现机器人控制器之间、机器人控制器同IC 装备之间的通讯,便于组成不同的应用系统。目前新松公司已经具有单臂和双臂两种类型4个型号的大气机械手,并且可以根据客户的要求进行定制,已有用户应用,并形成了系列化产品满足不同用户的要求。


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上海新松机器人自动化有限公

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主营产品:
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