参数如下：

干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

根据具体情形，综合以上所有设计类型的优点一定是的选择，但目前还不太可能。因此，这就要求使用者首先要知道在干式泵的设计上有着如此多的不同设计类型，进而根据自身工艺特点了解各种不同类型泵的设计对其影响。这样做出的选择才能够尽可能降低其使用成本，而获得一个寿命较长的稳定的真空系统。