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雷尼绍的RESR超高真空光栅

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  • 北京北京市

更新时间:2021-11-18

有效日期:已过期

产品详情

超高真空光栅
RGH20F UHV
RGH20F UHV圆光栅读数头与雷尼绍的RESR圆光栅兼容 
在超高真空条件下提供保真度*的直接位置反馈 
该产品广泛应用在半导体和科学设备上,其良好的性能在多年实际应用中已得到验证 
   
   
   
   
概述
RGH20F UHV圆光栅读数头与雷尼绍的RESR圆光栅兼容,在超高真空条件下提供保真度*的直接位置反馈。RGH20F UHV广泛应用于对性能和可靠性要求*的半导体和科学设备上,其良好的性能在多年实际应用中已得到验证。
UHV系列的用途
提高产量和收益 
消除速度/分辨率局限 
提高运动控制性能 
降低损坏风险 
RESOLUTE UHV是真正的式光栅,开启后可立即采集位置 
移动轴时不会有碰撞风险 RESOLUTE UHV任何时候都能保持全面控制,即使断电后也是如此 增强可靠性 
RESOLUTE UHV具有内置的位置检查算法
UHV读数头的特性与优点
由真空兼容材料和粘合剂制成,出气率低,进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境 
120 °C烘焙温度 
非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作,摩擦和磨损均为零 
具备工业标准的模拟和数字输出,分辨率达1 nm 
电耗低、发热小 
排气密封 
自适应电路可确保高精度、*工作的可靠性和低周期误差(RGH25F UHV和RGH20F UHV为±50 nm,TONiC UHV为±30 nm)
带有真空兼容涂层线路的RFI屏蔽线缆 
TONiC UHV光栅具有光学参考零位
与REF接口兼容
为了进一步提高性能和*可靠性,由符合RoHS标准的REF接口取代了RGB和RGF系列,它具有动态信号调节功能和5 nm的分辨率。
RGH25F UHV读数头由精选的低除气速率材料和粘合剂在的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。
真空兼容型钢带栅尺
RGS20-S钢带栅尺提供具有高重复性的测量标准。该标准适用于半导体和科学产业中使用的zui常见的工程材料,包括ZeroMet™、Zerodur®、不锈钢和铝。当使用*的环氧树脂将栅尺的末端锁入基体时,栅尺适应基体的热膨胀系数,从而表现出如同基体本身被刻划栅线的特性。
残留气体分析 (RGA) 测试结果
通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。
 

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