德国PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统

PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统

§ 结构紧凑：表面60毫米×60毫米

§ 100微米×100微米闭环行程（130微米×1 30微米，开环）

§ 用于成本关键型应用

§ 通孔尺寸20毫米×20毫米

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 也可提供紧凑型版本

应用领域

§ 扫描显微镜

§ 高吞吐量显微镜

§ 超分辨率显微镜

§ 掩模/晶圆定位

§ 干涉测量

§ 测量技术

§ 生物技术

§ 显微操纵

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

订购信息

PI P-612.20L XY

向纳米定位系统，130微米 × 130微米，孔径为20毫米 × 20毫米，开环

PI P-612.2SL XY

向纳米定位系统，100微米 × 100微米，孔径为20毫米 × 20毫米，应变片传感器

德国PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统