产品详情
ZLM800双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。通过把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合,而制造出新型的干涉仪测量系统。
配备的可编程ASIC装置,可根据用户的要求,提供个性化测量系统方案。
ZLM800激光干涉仪广泛应用于单一校准系统、多轴定位系统及快速动力学控制系统。它可以测算出机械设备的动力学行为,通过WINDOWS软件,按用户设定的工作方式对其进行分析。
ZLM800激光干涉仪配有一个模块化系统超级蔡司光学镜头,为用户使用激光干涉仪进行测量提供了*的解决方案:
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ZLM800系统增加了测量的可靠性和稳定性
世界范围内,ISO9000/9004是产品质量控制管理的统一标准,严格根据该标准来进行的质量检测,可以保证任何制造企业产品质量的性能。
测量的稳定性由测量工具、测量方法和操作者等多方面因素决定,测量系统的标定误差会*影响测量结果的准确性。
通过一种新的测量助手软件可以zui大限度减小整个测量系统的调整误差。两个四象限传感器置于激光测量镜头内, 一个用作测量光束,一个用作参考光束,从而保证了干涉仪系统能够以*的工作方式与被测的物体相适应。由于使用了大屏幕显示,因此干涉仪的自适应能力会非常灵敏。
使用调整助手的优点
智能化测量方法
ZLM800信号处理电路是以可编程ASIC装置为基础的。在测量工作中,不同信号之间的相互作用没有影响。
ZLM800可以与外部第二个计数系统相连接,这就使得被测设备和激光测试仪之间的比较变成一个路径、节约时间。该过程使用实时信号偶合,按照德标或标准对数据进行分析。
激光测试仪作为zui准确三维测量工具,测量数据易于记录,不易丢失。这些优点使得ZLM800激光测试仪是机械设备校准和鉴定使用德理想选择。
测量控制标准
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA
精准的测量方式
在环境条件(特殊情况下的物质温度)通过AUK500自动环境补偿仪(气象站)*记录下来,并且周围环境情况与测量室内条件*的情况下。即使是标准的配置,ZLM800激光测试仪的分辨率也能够达到5nm,测量误差优于1µm/m。
使用ZLM800激光干涉仪,使对机器设备和比较仪的长度测量校准变得更为容易和简单。
周围环境对测量结果的影响可通过AUK500自动环境补偿仪或手工输入来修正。zui多可使用5个物质温度传感器来补偿被测物体的线性偏移。 |
在准备和测量的过程中,zui重要的信息项目信息都会显示出来。使用鼠标或很少的几个按键,就可进入所有的功能程序中。 | ||
要测算和分析测量的数据,通过简单的操作,就可生成各种图形和表格,甚至某些极小的细节都可囊括进去。 | ||
测量的数据可以在文档卡中存档。通过卡片标签,可以对某些特殊数据进行快速检索,甚至从大量数据中进行检索。 |
测量
| 校准、定位、对齐
| 控制
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真空中氦氖激光平均波长 | 632.8 nm |
波长稳定性 | 2*10-9 一个小时 2*10-8 寿命周期内 |
激光束直径 | 6mm (可选3.2mm) |
应急扩展激光束zui大输出 | 1mW |
每束激光测量轴数量 | 1, zui多可选择6个 |
距离的测量范围 | 130英尺,zui多可选390英尺 |
角度的测量范围 | ±15°,长度zui大65英尺 |
直线度的测量范围 | ±0.195英寸, 长度6.5英尺,或32.5英尺 |
zui大速度 | |
线性 | <4m/s,可选16m/s |
角度 | <320 rad/s |
距离的分辨率 | |
立体角镜干涉仪 | 2.5nm (可选0.3nm) |
平面镜干涉仪 | 1.25nm (可选0.1nm) |
非线性度 | |
立体角镜干涉仪 | ± 1.25nm |
平面镜干涉仪 | ± 0.62nm |
角度的分辨率 | 0.62*10-7rad |
直线度的分辨率 | 145 nm,32.5时 29 nm, 6.5英尺 |
接口 | 正交信号 32bit(实时时间) Δt≈20ns |
内部环境 | 15°C ... 30°C 光学/高真空 |