GH-15MH
机台整机规格2150（W）×1750（D）×2035（H）mm
真空室规格进口铝 1090（W）×1430（D）×950（H）
电极板规格进口铝1120D×660H mm
单层有效处理区尺寸1075D×620H mm
真空电极结构垂直电极板16层, 处理15层工件
真空泵系统爱德华底泵+爱德华罗茨泵

GH-15MH
机台整机规格2150（W）×1750（D）×2035（H）mm
真空室规格进口铝 1090（W）×1430（D）×950（H）
电极板规格进口铝1120D×660H mm
单层有效处理区尺寸1075D×620H mm
真空电极结构垂直电极板16层, 处理15层工件
真空泵系统爱德华底泵+爱德华罗茨泵