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NS 离子蚀刻机 8IBE
小型离子蚀刻机,适用于科研院所,实验室研究
Hakuto (NS) 离子蚀刻机:NS 产品包含小型离子蚀刻机用于研究分析和大型离子蚀刻系统用于生产制造,NS 离子蚀刻机对磁性材料,黄金,铂和合金金属提供蚀刻技术.适合做各种材料的蚀刻.
基片尺寸 | ϕ 4 ×1片 |
样品台 | 水冷 |
离子源 | ϕ 8cm 考夫曼离子源 KDC75 |
通不同气体的蚀刻速率
Hakuto NS 日本原装设计制造离子刻蚀机,提供微米级刻蚀,满足所有材料的刻蚀,即使对黄金 AU,铂 PT,合金等金属及半导体材料也能提供蚀刻。适用于 MR 薄膜磁头、自旋电子学、应力传感器、射频滤波器、超导体、复合半导体材料的刻蚀。
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上海伯东 : 罗先生 中国台湾伯东 : 王小姐