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UL1000-UL1000氦质谱检漏仪

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  • 德国
  • 北京北京市
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更新时间：2011-12-20

有效日期：已过期

产品详情

 

德国INFICON公司氦质谱检漏仪
UL1000氦质谱检漏仪
在检测低至 10-12 atm cc/s 泄漏的稳定性和敏感度方面具有新的表现
Ø        CAL（智能漏率计演算）确保在全部测量范围内闪电般的快速响应
Ø        可旋转显示器/控制界面和可选遥控手持控制器提高操作的灵活性
Ø        更为方便的移动式
Ø        连接口均位于一侧
Ø        可靠性更高的真空系统
Ø        通过软件升级可始终保持UL1000的*性能
Ø        离子源三年保修期
应用：
Ø        半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵
Ø        工艺气体系统的检测与安装
Ø        元器件在组装前的漏率测试
Ø        要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
技术参数

zui小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）
＜5×10-12mbar.l/s
zui小可检漏率（吸入器模式）
＜3×10-8mbar.l/s
入口压强                粗检模式
                        精检模式
                        超精检模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
在抽空过程中的抽速
25立方米/小时
入口压强对氦气抽速      粗检模式
                        精检模式
                        超精检模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可检质量数
2、3、4amu, 氢，3氦，氦
电源电压
110－120V；220－241V
重量
110公斤；242磅
尺寸，包括手把（长×宽×高）
1068×525×850毫米


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类型：
其他
联系人：
刘建辉

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主营产品：
射频电源,中频电源,直流电源、质量流量控制器,石英晶体膜厚控制仪,残余气体分析仪
公司性质：
其他

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