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产品详情

电容位移传感器

　　Micro-Epsilon电容位移传感器的测量，建立在理想化平板式电容原理的基础上，因此对所有导电材料无需特别的线性校准，即可得到高精度的测量结果。通过线性校准后，也可用于对半导体和绝缘体材料的测量。

　　Micro-Epsilon系列电容式位移传感器的
突出优点，是它的超高分辨率和稳定性。其
高超的机械加工精度及*的信号屏蔽措施
使capaNCDT达到纳米级的精度．

传感器 & 测量系统

capaNCDT 6100
单通道电容位移传感器系列

capaNCDT 6300/6310
单通道电容位移传感器系列

capaNCDT 6350
高精度单通道电容位移传感
器系列

capaNCDT 6500
高精度多通道位移测量
系统

传感器探头构成理想电
容的一个电极，被测物
体构成另一个电极。

capaNCDT 6100系列电容位移传感器

高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.015 % FSO
频率响应：10Hz/2kHz （-3dB）（可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +150℃
温度稳定性：<0.01%FSO/℃

capaNCDT 6300/6310系列电容位移传感器

高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.001 % FSO
频率响应：8kHz （-3dB）（可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：<0.01%FSO/℃

capaNCDT 6350系列电容位移传感器

高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.3 % FSO
分辨率：可至 0.005 % FSO
频率响应：50 kHz （-3dB）
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：<0.01%FSO/℃

capaNCDT 6500系列电容位移传感器

高精度组合式多通道位移测量系统
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
误差：≤±0.05 % FSO
分辨率：可至 0.000075 % FSO
频率响应：8.5 kHz （-3dB）
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：10ppm/℃（Analog）,5ppm/℃（Digital）