产品详情
气体质量流量控制器M3090V产品亮点: |
-类 型:MFC气体质量流量控制器 -控制范围:10sccm ~ 20slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) -准度等级: ±1% F.S -耐 压:≤90bar -标准接口:0-5VDC,4-20mA可选 -响应时间:≤2sec -使用范围:2~* for max range -供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体) |
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