高浓度、高精度臭氧分析仪



本产品是同类产品中的高度高臭氧分析仪，它目前主要用于半导体、芯片、CVD，ALD等领域。由于它优异的，使得它成为那些需要长时期、高稳定地提供连续测量和工艺控制的客户的正确选择，长期使用的所有者成本低。是监测气体发生设备、气柜、气体输送系统以及半导体设备的臭氧浓度的理想选择。也可用于环境监测、职业卫生和科学研究。

主要特点：
微机控制 · 紫外吸收
可订购多达5个取样点 压力和温度补偿能力
内置现场编程，可编次序 · 定光学系统
每通道4-20mA隔离输出 · 每通道双报警



主要规格

取样点数量：1，3或5个内置式多通道阀
量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可选。

精度等级：5ppb（0-1ppm量程），0.01ppm（0-10ppm量程），0.1ppm（0-100ppm量程），

分辨率高：0.001ppm（0-1PPM），0.01ppm（0-10PPM）
流量：内置泵，流量可调（不大于2L/m）
输出：模拟4～20mA，以及数字输出
CE；内部自；RS-232通讯接口


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