前后卡套φ10，气体是无菌空气。
标准:

气体质量流量用氮气（N2）标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa


输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA；-15V,400mA

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

产品指标满量程流量范围（N2） 20～250SLM
控制范围 2～F.S.
阀类型（阀初始状态） 电磁调节阀（常闭）
准确度 ±2％F.S.
线性 ±0.5～2％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤4sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 ≤30SLM 0.05～0.3MPa
50～150SLM 0.1～0.3MPa
200～250SLM 0.15～0.3MPa

耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
通道湿材料 316L不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
动密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
接头选择 VCR 1/2”
Swagelok φ8、φ6、φ10、1/2”、1/4”、3/8”

重量 2.6kg

100SLM