技术参数：
 

1.微聚焦X光管zui大功率50kV,50W, 1.0mA
2.试样上X光聚焦点直径300um、100um、30um、20um及连续可变 
3.自动发射束滤波系统（包括全开、关闭和6个滤片，共8个位置）
4.10x及100x（300x）彩色CCD摄像头
5.样品室尺寸标准型:直径360mm,高310mm（大样品室型为700x700x700mm）
6.自动样品台行程100x100x100mm（大样品室型为300x300x100mm）
7. 标准精度计算机控制的XYZ样品台
8.样品台载重量: 5Kg,10Kg（大样品室）
9.可以在真空下或大气压下进行检测
10.可以进行单点或给定多点的自动分析
11.可以进行单视域或多视域组合的元素分布分析（面扫描与线扫描）
12.可以进行超越单视域的元素分布分析（在组合视域中选择单幅元素分布分析范围