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超高真空光栅

TONiC UHV

		TONiC UHV直线光栅读数头与雷尼绍带有IN-TRAC™光学零位的高精度直线栅尺兼容，包括RELM ZeroMet™和RSLM不锈钢因钢栅尺
		这些光栅系统在超高真空条件下提供保真度非常高的位置反馈

概述

TONiC UHV直线光栅读数头与雷尼绍带有IN-TRAC™光学零位的高精度直线栅尺兼容，包括RELM ZeroMet和RSLM不锈钢因钢栅尺。这些光栅系统在超高真空条件下提供保真度非常高的位置反馈。TONiC UHV直线光栅在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求*的半导体和科学应用。

高性能TONiC增量式读数头

所有TONiC读数头均使用一代雷尼绍光学滤波系统，经过优化，噪声超低。包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏移量控制 (AOC) 在内的动态信号调整进一步增强了*的光学系统设计。因此，输出信号具有的信号纯度，典型的细分误差 (SDE) 为±30 nm，噪声（抖动）达0.51 nm RMS，分辨率达1 nm。
所有TONiC栅尺均包括直接嵌入到增益通道中的*IN-TRAC光学零位，只需单击按钮即可以方便地实现自动电子调相 — 因此，这一功能也可远程执行。IN-TRAC光学零位还具有在所有速度和整个工作温度范围内保持相位*的优点。

高精度真空兼容型栅尺

RELM ZeroMet因钢栅尺在zui长1 130 mm的距离内，热膨胀系数为“零”，总体精度可确保优于±1 µm。RSLM不锈钢栅尺集超高的精度与钢带栅尺的便利性于一体，有多种长度可供选择，zui长可达10 mm，是测量精度要求严格的较长轴测量的理想解决方案。
TONiC UHV读数头由精选的低出气率材料和粘合剂在的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁

残留气体分析 (RGA) 测试结果

通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。

重要事项！ TONiC接口应该置于UHV环境之外。

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