美国API公司XD系列激光干涉仪

技术综述：

　　1D激光主要可以测量定位误差

　　3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)

　　5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角

美国API公司XD系列激光干涉仪

技术参数：

　　5D/6D标准型：

　　1. 线性：0.5ppm .

　　2. 测量范围：40米(1D可选80米)

　　3. 线性分辨力：0.001um.

　　4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

　　5. 大范围：800角秒

　　6. 滚动角精度：1.0角秒

　　7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

　　8. 直线度大范围：500um

　　9. 垂直度精度：1角秒

　　10. 温度精度：0.2摄氏度

　　11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg

主要特点：

　　1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

　　2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

　　3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米

　　4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

　　5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间