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日本白光干涉位移传感器特性
针对 10 × 10 mm 的测量区域，可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材质/颜色、死角的影响，实现了微米的高精度测量。
测量多点时，需要高精度且高速扫描目标物。 因此，往往会将时间浪费在移动载物台上，不易进行全数检测。 由于 WI-5000 系列是以面进行同时测量，因此可大幅缩短测量时间，实现全数检测。
为了用于离线检测，备有可固定传感器头的底座。 配备可削减检测工时的各种实用功能。 改善从简易测量到保存数据等各种情况的可操作性。
型号 | WI-001*1*2*3 | WI-004*1*2*3 | WI-010*1*2*3 | |||
参考距离 | 18 mm | |||||
测量范围 | Z | 1.4 mm(标准模式)，0.7 mm(高速模式) | ||||
XY | 1 × 1 mm | 4 × 4 mm | 10 × 10 mm | |||
小检测区域 | 4 × 4 µm | 15 × 15 µm | 40 × 40 µm | |||
重复精度(段差) | 0.1 µm*4 | |||||
直线性(段差) | ±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 | |||||
测量用光源 | 类型 | 红外线SLD | ||||
波长 | 830 nm | |||||
激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) | 3R 类 | |||||
输出 | 3.6 mW | |||||
引导用光源 | 类型 | 红色半导体激光 | ||||
波长 | 660 nm | |||||
激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) | 1 类 | |||||
输出 | 0.15 mW | |||||
采样周期 | 内部触发 | 133 ms(高速模式)，266 ms(标准模式) | ||||
外部触发 | 快 266 ms(高速模式)，快 532 ms(标准模式)*6 | |||||
环境抗耐性 | 环境光照 | 白炽灯/荧光灯：5,000 lux 以下 | ||||
环境温度 | 0 至 +35 °C | |||||
相对湿度 | 20 至 85 % RH (无凝结) | |||||
重量 | 约 3000 g | |||||
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针对 10 × 10 mm 的测量区域，可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材质/颜色、死角的影响，实现了微米的高精度测量。
测量多点时，需要高精度且高速扫描目标物。 因此，往往会将时间浪费在移动载物台上，不易进行全数检测。 由于 WI-5000 系列是以面进行同时测量，因此可大幅缩短测量时间，实现全数检测。
为了用于离线检测，备有可固定传感器头的底座。 配备可削减检测工时的各种实用功能。 改善从简易测量到保存数据等各种情况的可操作性。
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