德国PI P-620.2–P-629.2PI XY向压电工作台

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

§ 行程为50至1800微米

§ 分辨率达0.1纳米

§ 定位精度 0.02 %

§ 带电容式传感器的直接计量

§ X、XY、Z和XYZ型

应用领域

§ 干涉测量

§ 显微镜

§ 纳米定位

§ 生物技术

§ 测试程序和质量保证

§ 光子

§ 光纤定位

§ 半导体技术

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来大精度

运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现*的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。

订购信息

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-620.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-621.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-622.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-625.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-628.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-629.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

带LEMO连接器的版本

P-620.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-621.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-622.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-625.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-628.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-629.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

不带位置传感器的线性定位器

P-620.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，60微米 × 60微米，不带传感器，LEMO连接器 P-621.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，120微米 × 120微米，不带传感器，LEMO连接器

P-622.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，300微米 × 300微米，不带传感器，LEMO连接器

P-625.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，600微米 × 600微米，不带传感器，LEMO连接器

P-628.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，1000微米 × 1000微米，不带传感器，LEMO连接器 17.05.2018

P-629.20L 精密PIHera XY向纳米定位系统，1800微米 × 1800微米，不带传感器，LEMO连接器 线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-620.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-621.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-622.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-625.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-628.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-629.2UD 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

德国PI P-620.2–P-629.2PI XY向压电工作台