HITACHI EA600VX 扫描X射线荧光光谱仪  特 点：

◆无需使用液态氧的高感度实现

◆超高速扫描（500点连续测定）及位置测试双重功能

◆多功能自动定位        ◆凹凸样品自动补正

◆超高解析样品图像      ◆高精度膜厚测定

◆微小异物查找          ◆扫描

1. 高速扫描测量
      通过结合了大幅提高的微小区域X射线莹光分析灵敏度和高速电动平台，能够快速获得二维扫描图像。特别是强化了对线路板中铅的扫描，配备了铅扫描滤波器。让1,000ppm以下无铅焊锡中的铅扫描变成简单可行。

2. 宽视野高清晰度光学系?

        可获得250mm x 200mm的20μm以下高清晰度的光学影像。以该光学影像可以直接精确测量位置，让操作性得到飞跃般的改善。此外，该光学影像可以和通过高速扫描获得的扫描图像进行重迭，可在大范围内进行高精度分析。

3. 微小区域中微量金属的高速测量

      实现了高密度微小X射线束以及配备的高计数率检测器，加上充分考虑到X射线莹光检测效率的设计，实现了高灵敏度化。微小区域中微量金属或薄膜都可在短时间内测量。即使是1mm x 1mm左右的微小区域也可以以100秒左右的速度测量其中的有害物质。 

4. 无需液氮的高计数率检测器

      作为标准配置本公司*的无需液氮的高计数率检测器，省去了繁琐的液氮补给程序。仅需数分钟的开机时间，同时电子冷却的规格具备了优异的可信性。运用的技术可以减少在液氮制造、搬运时产生的二氧化碳，以及提高测量速度后节省下的电力等，是一款考虑到环保问题的*仪器。

5. 微小区域的镀层厚度测量

      可在十秒左右的时间完成对0.2mm x 0.2mm面积中Au/Ni/Cu（金/镍/铜）等薄膜多镀层的镀层厚度测量。此外，也可对无铅焊锡镀层或化学镍镀层中含有的微量铅进行分析。

HITACHI EA600VX 扫描X射线荧光光谱仪 基本规格