产品详情
热式气体质量流量控制器/流量计LF420-SC：热式气体质量流量计因有其*的优点，可以应用于从真空到高压工作环境下，且流量不随温度和压力的影响。主体材料选择不锈钢316L结构，密封材料采用氟橡胶、橡胶、聚四氟 乙烯等，适用于各种腐蚀性气体。具有精度高、重复性好、快速响应、工作稳定可靠。
热式气体质量流量控制器/流量计LF420-SC技术参数：
产品型号 | LF420-SC | LF420-SM |
满量程范围 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量计100:1 |
精度 | ±1.0%F.S | |
线性 | ±0.5%F.S | |
重复性 | ±0.2%F.S | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
响应时间 | ≤1S-3S | |
工作压差 | 0.1...0.5Mpa | |
耐压 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信号 | 0-5V / 4-20MA | |
供电方式 | 24VDC（250mA） | |
密封材料 | 橡胶 氟橡胶（可选） | |
接头尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
电器接头 | DB9针 | |
