HCMP 手动探针台

微型真空探针台是一款用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估。

功能特点

1、无人机外观设计开发，让低温探针台小巧精密；

2、XYZ三维移动平台的开发，位移分辨率min：10um以下；

3、电声制冷机制冷加热一体化平台应用开发；

4、液氮制冷加热一体化平台应用开发；

5、利用机械弹性设计，低温环境下也有弹性，避免在探针压薄膜样品是损坏薄膜；

6、实现-160℃~450℃的制冷和加热测量环境，控温精度达到±0.5℃；

7、采用1000X放大镜显微镜设计，有利于实时观察样品的测量状态；

8、广泛用于复杂、高速器件的精密电器测量，可靠性高；

9、高低温平台、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得简单；

10、可以通过USB传输数据，数据格式为Excel格式。

应用场景：晶圆芯片高低温测试

测试类型：IV/CV/RF

样品台：4英寸

温度范围：77K-673K

真空度：10E-4Pa

显微镜类型：单筒、体视、金相显微镜

探针臂数量：2-6个

探针臂移动：50mm*50mm*50mm

测试接口：BNC三同轴

测试精度：100fA

可搭配仪器：源表、半导体参数分析仪、网络分析仪、示波器等

华测测试仪器  HCMP手动探针台

华测测试仪器  HCMP手动探针台