产品介绍

四轴精密度线轨运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等*制造行业。

产品特性

X、Y、Z、工作台，直驱电机驱动可实现360°角度旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，直线电机驱动垂向运动;配套平衡气缸支撑，防止断电掉落:

亚微米级重复定位精度;

峰值速度1000mm/s，峰值加速度1g;

单轴直线度可达士1.5um，运动平面度可达2.um;

X、Y两轴正交性可达2.0um;

直线电机驱动，光栅尺编码反馈，位置精度高，全闭环控制；

该机构具备较大的负载承受能力及较快的响应能力。