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u 体积电阻率试验仪
电阻率是半导体材料最重要的特性参数之一，通过对其测量，可以掌握样品中杂质浓度的分布情况。因此，在半导体工业中，必须快速、准确地对硅晶圆片电阻率进行测量和分档。 本文首先详细分析了四探针电阻率测试原理，在比较了几种测试方法的基础上，确立了矩形四探针法，与国内厂家现在普遍采用的直线四探针法相比，用矩形四探针法可以获得更小的测量微区，而且其游移偏差也小于直线四探针测量所产生的偏差。 在此基础之上，将直流四探针测试方法与嵌入式系统相结合，设计出数字化智能四探针电阻率测试仪，详细说明了各部分电路的组成及功能，以及相应的软件设计。该系统依据直流四探针法原理，采用由16位单片机MSP430控制的高稳定度可编程恒流源电路和低温漂、低噪声可编程放大器电路，以及自动量程转换电路等部分构成测量回路，使得该仪器能够自动识别待测样品的电阻率，并根据电阻率大小自动切换量程，既可以独立工作，又可以通过RS-232接口与PC机通信，大大提高了该测试仪的数据处理能力和测量精度，而且操作十分方便高效。该测试仪有较高的实用价值和发展前景。
u 符合标准：
GB/T31838第2.3.4部分测试要求、
GB/T 1410《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》（等同IEC 60093）、
GB/T 10064《测定固体绝缘材料绝缘电阻的实验方法》（等同IEC 60167）、
GBT2439-2001硫化橡胶或热塑性橡胶导电性能和耗散性能电阻率的测定、
GBT1692-2008 硫化橡胶绝缘电阻率的测定、
GB/T3048.5电线电缆电性能试验方法 绝缘电阻试验等而设计和制造的，
u 主要技术参数：
型号： ZST-212电阻率测试仪。
电阻范围：（104 ～10 17）Ω。
电阻测量误差： 1×104～1×1011 Ω±5%；
1×1011～1×1012 Ω±10%；
1×1012以上±20%；
测试电压：10V、50V、100V、250V、500V、1000V。
测试电压(见表1)、测量范围(见表2)
表1
测试电压（V） | 误差 |
DC——10V | ±5% |
DC——50V | ±5% |
DC——100V | ±2% |
DC——250V | ±2% |
DC——500V | ±2% |
DC——1000V | ±2% |
表2 不同试验电压下各采样电阻档位对应的阻值测试范围表
试验电压 | 2档 | 3档 | 4档 | 5档 | 6档 |
1000V | 1×106～1×108 | 1×108～1×1010 | 1×1010～1×1012 | 1×1012～1×1014 | 1×1014～5×1016 |
500V | 5×105～5×107 | 5×107～5×109 | 5×109～5×1011 | 5×1011～5×1013 | 5×1013～2×1016 |
250V | 2.5×105～2.5×107 | 2.5×107～2.5×109 | 2.5×109～2.5×1011 | 2.5×1011～2.5×1013 | 2.5×1013～1×1016 |
100V | 1×105～1×107 | 1×107～1×109 | 1×109～1×1011 | 1×1011～1×1013 | 1×1013～1×1015 |
50V | 1×105～5×106 | 5×106～5×108 | 5×108～5×1010 | 5×1010～5×1012 | 5×1012～5×1014 |
10V | 1×105～1×106 | 1×106～1×108 | 1×108～1×1010 | 1×1010～1×1012 | 1×1012～1×1014 |
使用条件
①环境温度： 0～40℃
②相对湿度：≤70%
③供电电流：交流220V ±10% 50Hz
仪器可连续工作8小时
消耗功率：约 10W
u 体积电阻率试验仪 标准配置：
编号 | 配件 | 数量 |
1 | 仪器主机 | 一台 |
2 | 屏蔽箱 | 一个 |
3 | 试验电极 | 三个 |
4 | 说明书 | 一本 |
5 | 电源线 | 一条 |
6 | 数据线 | 三条 |
7 | 合格证 | 一份 |
8 | 保修卡 | 一份 |
