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HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

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更新时间:2023-11-23

有效日期:还剩193

产品详情

某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:

阀门材质:

- 阀门主体

304 不锈钢

- 焊接波纹管轴封

AM - 350

阀门密封方式

- 高真空

氟橡胶

- 超高真空

铜垫圈 / 氟橡胶

真空:

- 压力范围

高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

- 漏率

< 2x10-9  mbar l/S

- 差压关闭

1 bar ( 任意位置 )

- 开启前压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

- 弹性体密封阀盖

150°C

- 金属密封阀盖

-开启温度:200°C

-关闭值:150°C

- 驱动方式

手动 60 °c, 气动 60 °c

机制

手动:

手摇曲柄

电磁阀供电电压

120 VAC 50 /60 Hz

电磁阀可选电压

24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC

电磁阀位置指示器

115 VAC
或 28 VDC, 20 mA

气动送风:

80 psig

使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

公称通径: DN 16 - 800 mm


E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.


基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.


若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗女士



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伯东企业(上海)有限公司

型:
代理商
联系人:
叶小姐

联系我时,请说明是在智能制造网上看到的,谢谢

商家概况

主营产品:
德国 Pfeiffer 真空产品, 美国 inTEST 高低温测试机, 美国 Ambrell 感应加热, 美国 Polycold 冷冻机,美国 HVA 真空阀门
公司性质:
代理商

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