氮气高温烘箱：

1.外壁材料采用双面镀锌钢板，表面喷塑处理；内壁材料：SUS不锈钢板；箱体保温材料：玻璃纤维；门保温材料：玻璃纤维。

2.室内空间设置样品架支撑调节分度架，在分度架上设置卡槽，样品架可轻放入和取出，托盘采用不绣钢材料，承重≥10KG/层，分别支持4寸晶圆25片，6寸晶圆25片。

3.烘箱后壁开设一个氮气接口，可以外接氮气，使箱内处于厌氧状态。

4.具有带电池保护的RAM,可保存设备的设定值、采样值及采样时刻的时间；曲线记录周期可设定1S～120sec，记忆时间储存连续存储720天历史曲线,历史数据(当采样时间为2min), 无连续使用时，数据可以保存长达10年以上。

5.故障报警及原因、处理提示功能；断电保护功能；上下限温度保护功能；定时功能(自动启动及自动停止运行)、自诊断。