产品详情
Huace-6S 高低温探针台
特点/应用
◆ zuida可用于12英寸以内样品测试
◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
◆ 可升降调节适合加装探针卡
◆ 可搭配多种类型显微镜
◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制。
技术参数
台体规格 | |
样品台尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋转 | 可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸 |
X-Y移动精度 | 10μm/1μm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，zuiduo可放置6-12个探针座 |
平台升降 | 可快速升降10mm/可微调升降10mm |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
温度范围 | 负80°到正400° |
温控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
设备重量 | 约20KG/30KG |
光学系统 | |
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | 水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
针尖材质 | 钨钢；铍铜 |
可选附件：
加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；
光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
高压测试配件；
显微镜快速倾仰装置；
激光系统；
探针卡夹具；
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