一．SECS/GEM协议无尘烘箱，100级洁净烤箱概述

   百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM的通用SECS-II消息进行监控和控制。

二．SECS/GEM协议无尘烘箱，100级洁净烤箱特点

Ø   SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。 SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）标准以确定的方式完成所有这些工作。

Ø  在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

Ø 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；

Ø 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。

三．SECS/GEM协议无尘烘箱，100级洁净烤箱技术参数

1.主要技术指标

Ø 无尘等级：Class 100/10;     

Ø 温度均匀度：±2℃;    

Ø 温度波动度：±0.5℃（空载）；        

Ø 温控精度：±0.1℃;

Ø 进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø 排风口： φ3”排风管（外接φ5＂法兰）;         

Ø 网板：2-5层，

Ø 洁净度：100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

四．SECS/GEM协议无尘烘箱，100级洁净烤箱常用规格