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真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱简介：
真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱是一种定制专用真空烤箱。将高纯度氮气充入烤箱内部，从而置换腔内空气降低氧浓度，来防止部分物料在高温环境下加速氧化的现象。烤箱抽取真空后，充入氮气，再抽取真空，多次循环后可以确保烤箱的工作室处于无氧的状态，避免活性较强的物料在高温有氧的环境下被氧化而损坏。
无氧化真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合前键合材料的真空处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。
真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱技术指标：
工作室尺寸（mm） | 450×450×450，600×600×600，可定制 |
箱体材质 | 内箱采用316L科研级不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑或不锈钢 |
温度范围 | RT+10-300/400/500℃ |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温度波动度 | ≤±1℃ |
升温速率 | ≤5℃/min |
降温速率 | 特殊要求数据 |
真空度 | ≤133pa或要求数据 |
电源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制仪表 | 人机界面，可校准温度控制器，PID自整定等功能 |
搁板层数 | 不锈钢托盘2层或多层 |
真空泵 | 油泵/干泵自选 |
腔门密封圈 | 采用耐高温硅橡胶密封圈 |
状态指示灯 | 配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态 |
氧含量 | 20PPM，可检测，实时显示 |
洁净度 | Class100、1000级 |
降温系统 | 风冷+水冷 |
氮气控制 | 可程序自动控制 |
安全保护装置 | 安全的接地保护装置，超温保护及报警装置，漏电保护装置 |
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