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EVO 能够与其它设备相关联： EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与蔡司光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。
优异的图像质量： EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态，维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。
便捷的可用性：SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学，大大减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。
| 型号 | 蔡司EVO10 | 蔡司EVO15 | 蔡司EVO25 |
| 各型号对比优势 | 选择EVO 10 (可选配BSD和 EDS)是您想以一个非常实惠的价 格购买扫描电子显微镜的切入点。 即使这个EVO真空室很小，它也不 同丁台式电镜。您现在在CVO的 投资保证了您已经为将来需要更多 空间和端口的应用做好了准备。 | EVO 15充分展示了 EVO家族的灵 活性概念，并擅长于分析应用。选 择EVO15更大的真空室，并増加 对不导电样品或零件的成像和分析 的可变压力模式，你将有 个多功 能多用途的显微镜设备或者工业质 量保证实验室的解决方案。 | EVO25是工业的主力解决方案，它有足 够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。 可选的80mmZ轴行程载物台可进一步 扩展EVO25的功能，它可以处理重量 高诂2公斤的杵品甚至倾斜。此外，大的 真空室将能够容纳多个分析检测器以满足 苛刻的微量分析应用需求。 |
| 样品高度 | 100mm | 145mm | 210mm |
| 样品直径 | 230mm | 250mm | 300mm |
| 电动载物台行程XYZ | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 （或 80） mm |
高真空鮭(HV) 导电样品质量的成像与分析 | √ | √ | √ |
可变压力模式(VP) | √ | √ | √ |
扩展压力模式(EP) 含水或被污染的样品在其自然状态下成像 | √ | √ | √ |
