产品详情
| 电源系统 | 射频电源 | 中频电源 | |
| 功率 | 0~600W | 0~2000W | |
| 频率 | 13.56MHz | 40KHz | |
| 真空系统
| 双级旋片泵（油泵） | 60m3/h | |
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | ||
| 材质 | 铝合金（可定制不锈钢腔体） | ||
| 厚度 | 25mm | ||
| 密封性 | 级焊接密封 | ||
| 腔体内部尺寸 | 450×450×500mm（宽×高×深） | ||
| 电极板有效尺寸 | 420×411mm（宽×深） | ||
| 可用空间间距 | 22.5mm | ||
| 电极板布置方式 | 水平布置，可活动抽取 | ||
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | ||
| 工作空间 | 8层 | ||
| 气体系统 | 流量范围 | 0~300SCCM | |
| 工艺气体气路 | 标配两路，可定制 | ||
| 控制系统 | 系统控制 | PLC | |
| 交付方式 | 7寸触控屏幕 | ||
| 其它参数 | 外形尺寸 | 900×1750×1000mm（宽×高×深） | |
| 重量 | 200KG | ||
| 设备外观颜色 | 银灰色 | ||
厂务规格要求
| 厂务规格要求 | |
| 交流电源规格 | 电源：AC380V，50/60Hz，5线，50A |
| 厂务排气 | 流量：2.0 m³/min |
| 厂务工作气体要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
| 厂务压缩空气要求 | 流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
一般规格
| 一般规格 | |
| 危险标识 | 高压危险标识 |
| 使用环境 | 温度：15~30℃ 湿度：30~70% |
| 其他注意事项 | 不可有可燃性气体，腐蚀性气体，爆炸或反应性粉尘 气瓶需固定 |
配置清单
| 配置清单 | |||||
| 序号 | 名称 | 描述说明 | 单位 | 数量 | |
| 1 | 主机 | 外形尺寸：900×1750×1000mm（宽×高×深） | 台 | 1 | |
| 2 | 真空腔体 | 铝合金真空腔体 内尺寸450×450×500mm（宽×高×深） | 个 | 1 | |
| 3 | 激励电源 | 射频电源 | 中频电源 | 套 | 1 |
| 频率：13.56MHz； 功率0~600W 或0~1000W可选； 全自动真空电容匹配器 | 频率：40KHz； 0~1000W;
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| 4 | PLC | 德国西门子，S7-200 | 个 | 1 | |
| 5 | 触摸屏 | 威纶通，七寸屏幕，MT6071iE | 个 | 1 | |
| 6 | 流量计 | 英国wawick品牌 | 个 | 2 | |
| 7 | 真空泵组 | 飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h | 台 | 1 | |
| 8 | 真空计 | 英福康 | 个 | 1 | |
| 9 | 说明书 | 真空等离子清洗机WBE-100操作说明书 | 份 | 1 | |
维护保养
| 维护保养 | |||
| 项目 | 检查内容 | 寿命 | 检查频率 |
| 油泵 | 滤芯 | 使用时间2000H | 15天 |
| 泵油 | 使用时间2000H | 15天 | |
