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小型等离子清洗机的工作原理是在真空状态下,利用高压交变电场将工艺腔室内的氧、氩、氨等工艺气体震荡形成具有高能量和高反应活性的等离子体,活性等离子体与微颗粒污染物或有机污染物发生物理轰击或化学反应,使被清洗表面物质变成粒子和挥发性气态物质,然后随工作气流经过抽真空排出,从而达到清洁、活化表面的目的。
●小型等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，应用范围广。
●触摸屏用户界面，可储存多条用户程序，全自动运行
●不锈钢腔体，密封性
●可支持 13.56 MHz 射频发生器，自动阻抗匹配调谐
●支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
●由于功耗低且无需特殊处理气体，该装置是提高表面润湿性和附着力的非常经济高效的解决方案。
●高分子材料表面改性粘合性、亲水性能提高。
●晶圆光刻胶灰化、剥离和除渣。硅晶片的有机污染物去除
●用于 PDMS 键合、载玻片、芯片实验室和其他微流体应用的等离子处理
●材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
●材料表面有机污染物去除。
●清洁TEM和SEM样品，去除烃污染
●增强环氧树脂/胶水粘合强度
●用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头
●改善MEMS微流体器件的润湿性
●隐形眼镜、医用植入物等类型医疗器械的表面处理和激活
等离子清洗技术广泛应用在电子行业（主要是半导体和光电工业）、橡胶、塑料、汽车及国防等领域。等离子清洗技术不可比拟的优势在于：一、绿色、环保、无污染。
| 序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配，远程通信控制 | ||
| 频率 | 40KHz/13.56MHz | ||
| 2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
| 腔体容积 | 2L | ||
| 电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘 | ||
| 腔体直径（圆形） | 100（W）×270（D）mm | ||
| 有效处理范围 | 80（W）*235(D)mm | ||
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
| 3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
| 气路数量 | 2 路气体通道，支持氧气氩气等 | ||
| 4 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
