产品详情
产品特点：
PLC工控机控制整个清洗过程，全自动进行。
7寸彩色触摸屏互动操作界面，实时工作参数状态直观显示。
手动、自动两种工作模式。
数字流量计控制，控制更准确。
符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。
顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。
上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
有效处理面积大，可处理8寸硅片去胶等应用。
可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。
安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
技术参数：
型号 | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-300W可调 |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |
处理尺寸 | Φ370mm圆盘 | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
