产品详情
产品特点：
触摸按键 +4.3 寸液晶显示屏+双浮子流量计组合控制方式，经济实用。
手动、自动两种工作模式。
弧形等离子激发板，等离子激发能力更强。
采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，双路气体控制。
分体式设计，便于手套箱内使用。
安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号 | VGB-P | CPC-Plus |
舱体尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
舱体容积 | 3L | 3L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计（标配） | |
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
