法兰接口

KF40（CF40）

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调，

远程等离子源，自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源/功率

220V，50/60Hz，300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min

质量保证

二年质保，终身维护