深入表面 · 魅力科学

（1）产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

（1.2）大气线性等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV清洗等，具有以下优点：

（A）处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

（B）处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。

（C）处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

（D）可以*搭配自动化流水线，提高生产效率

根据用户现场需求，配置流水线生产方案，大大提高生产效率。

（1.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为三大组成部分，分别是高压激励电源、等离子发生装置喷枪、控制系统。

（A）高压激励电源：

等离子体的产生需要高压激励，大气线性等离子采用射频电源进行激励，频率为13.56MH，激励均匀稳定。参数根据样品实际情况可进行调节，已达到优秀的改性效果。

（B）等离子发生装置喷枪：

大气线性等离子发生装置采用进口设计的放电装置，放电效果均匀，处理高度高。

（C）控制系统：

控制系统作用在于控制整个大气线性等离子清洗设备的运行，以及整体系统的保护。

（2）技术规格

（3）性能优势

  线性等离子体系统，该系统是具有条带处理能力的大容量紧凑型平台。 系统使其前身的容量和吞吐量翻倍，而占地面积仅占16％。等离子体室具有较低的拥有成本，每等离子体循环可处理多达10条。 等离子体系统设计用于在裸片附着，引线键合，模具封装和底部填充之前的等离子体处理。

  等离子体处理可消除污染，蚀刻表面以改善粘附性，并在电子制造过程中提供表面活化。通过等离子体处理的表面活化可以通过增强流体流动，消除空隙和增加芯吸速度来增强模具附着，模制，引线接合和底部填充。

  等离子体系统的集成条带处理系统，为各种条带尺寸提供快速可靠的材料传输。可以从大多数类型的杂志和运营商处理。腔体设计和控制系统能够实现低等离子体循环时间，低开销，确保吞吐量，并将所有权成本降至。 CDS平台的室内技术与CD平台*相同，因此过渡到新的CDS平台很容易。该系统具有1119 mm宽x 1286 mm深（44 x 51英寸）的紧凑型占地面积。

宽幅线性等离子清洗机-达因特