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等离子清洗机离子体清洗清洗优点，在管状结构可以通过达因特的腔内沉积技术的应用实现。通过将管子置于空心阴极中，等离子体得以维持，并允许材料沉积到管状结构的id上。通过精确地控制过程压力和射频频率和持续周期，不同的管径和长度可以实现反应物扩散。达因特的应用程序特定的气歧管的设计是用来优化所需的沉积均匀性。
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
