本系统是公司联合复旦大学引进美国 Instrue 四极质谱分析技术，基于四极质谱原理的 RGA 可以快速测量并分析真空室内各种气体的组份与分压强，采用的四极杆质谱技术为您的应用提供了无以比拟的气体检测、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒级时间内全动态范围对气体进行采样。由真空机组、气体样品取样阀、残余气体分析仪、应用控制软件等组成。

适用于真空排气检测、真空镀膜气氛与残余气体监控、混合气体配比充气、真空检漏、粒子加速器、真空内表面放气鉴定、零件污染源判断、低温泵再生，以及去气剂状态测量等。

产品已获得发明 1 项、实用新型 2 项，申请发明 1 项、 实用新型 1 项；

主要技术创新特点

1、采用微型腔体四极质谱气体采样探头，整机插拔式安装。探头的组装采用自对准结构，在限度内减少真空系统引入尘埃，且便于清洗维护后的再次组装；

2、自适应高频谐振 RF 电源，全固态电路设计数据采集系统，软件自动扫描调节频率，实现 RF 驱动电路 Q 值，实现系统电控部件小型集成化，提高整机可靠性；

3、将物理思路与嵌入式软件相结合，采用了气体分子质谱自动校准软件，使得在开机测量过程中无需外部辅助条件便可始终保持谱峰识别的准确性。

主要科研实验内容

1、能够详细地分析真空系统内部的微量气体成份种类，各组份分压强及系统总压强，同时记录各组气体分压强随时间的变化；

2、可以任意设定包括氦在内的样品气体用作真空系统检漏；

3、在使用时对四极质谱分析过程的多种参数进行自由设定，可以根据各种电参数的改变，看对气氛质谱分析的影响，从而易于在基本原理的层次上对四极杆质谱教学分析过程有深入的理解。

主要技术参数

1、极限真空：6.7×10 -5 Pa；

2、抽气系统：2XZ-4 机械泵 +FF100/110 分子泵；风冷或水冷；

3、测量范围：1 ～ 100AMU（质量与电荷的比例）；

4、探测器种类：法拉第杯；

5、工作压强：UHV（极限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；

6、分辨率：峰高 10% 处小于 1.0 AMU ( 依据 1993 AVS 推荐方法 )

7、测量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （软件设定）；

8、工作温度（探头）：200℃；

9、应用软件：AccuRay 2.0 for Windows；

10、通讯接口：USB 2.0 ( 非隔离，115200 波特率 )；

11、用户需自备或另购冷却水系统。