产品详情
产品简介:
采用传统激光检测探针的原子力显微镜(AFM),经典传承、品质。集成了多模式和多功能的、国际和研究级的扫描探针显微镜产品。
仪器特点
采用激光探测探针,支持接触模式和轻敲模式的形貌成像。
具备力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等测量分析功能。
采用高精度嵌入式测控系统,主机隔音抗震设计,抗干扰能力强。
可扩展纳米加工、扫描隧道显微镜、静电力显微镜等扫描探针显微镜功能。
可选配不同扫描范围的管型扫描器,或平面闭环型扫描器。
可通过选配模块和扩展接口增强系统功能。
激光检测示意图
主要技术参数
一键式快速自动进样,行程23mm,最小步距50nm。
手动调节样品检测位置,调节范围±10.0mm。
样品尺寸的直径20mm,厚度20mm。
标配管型扫描器,扫描范围约为20μm×20μm×5μm。
样品逐行扫描成像,扫描成像速率0.1-30行/秒。
一次扫描多幅图像,图像分辨高达1024×1024物理象素。
内置数模混合结构的锁相放大器,数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。
嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器(ARM + DSP),与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。
标准配置:
主控制器
主机底座及隔音罩
主机探头及探针架(L型)
手动样品调节台(调节范围±10.0mm)
管型扫描器(扫描范围20μm)
计算机及专用测控软件
仪器附件
L型探针架(上:正面;下:背面)
选配模块:
纳米加工模块,包括:图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能
扫描隧道显微镜(STM)模块,包括:扫描隧道显微镜的硬件与软件、STM探针架(WinSPM T-Probe)
辅助观察光学显微镜系统:物镜倍数:0.7X~4.5X;总放大倍数:42-266X连续可调(14”有效显示面积);工作距离:115mm
管型扫描器模块:扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格
平面闭环扫描器:扫描范围为30μm×30μm×9μm,闭环分辨率约1.5nm,垂直方向的谐振频率约为40kHz
导电原子力显微镜(C-AFM)
静电力显微镜(EFM)
磁力显微镜(MFM)
应用领域及实验
实验一:原子力显微镜的基本原理与应用,典型的应用领域为纳米研究、教学教育。
实验二:原子力显微镜形貌成像及分析,典型实验内容包括:软磁盘或光盘等常规样品形貌成像及分析、光栅样品的形貌成像及关键尺寸测量、纳米台阶的测量分析。
实验三:谱曲线测量与纳米力学实验,典型实验内容包括:力-距离曲线的测量分析、液体膜厚度的测量与分析。
实验四:扫描隧道显微镜(STM),包括形貌成像和隧道谱。(需增配STM模块)
实验五:纳米加工实验,如图形化纳米刻蚀实验。(需增配纳米加工模块)
实验六:其它基于特殊针尖或实验方法的原子力显微镜的应用领域,包括:导电原子力显微镜(C-AFM)、静电力显微镜(EFM)、磁力显微镜(MFM)等。(需增配或定制相应的功能模块)。
仪器整体照片 | 磁盘形貌图(3×3μm) |