供应TS-200/2000HP 功率器件在片测试系统,-智能制造网

产品详情

● 兼容 8 寸及以内晶圆，可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圆

● 电压 3 kV，电流 130 A（后期可升级10 KV 500 A）

● 晶圆级三端垂直导电器件 SiC MOSFET（水平器件）

● 温度范围 -60℃ ~ 300℃

● 可进行 3 kV 高压偏置电容测量，全自动切换测试 Ciss，Coss，Crss，测试频率 100 kHz

● 支持探针和探卡两种针测方式

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主营产品：: 无线电综合测试仪

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