关键词：气体质量流量控制器     流量控制系统     高精度流量控制     数显气体质量流量计

产品用途：

配合真空气氛管式炉一起使用，供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。

仪器特点：

1.方便的气路快速连接接口，简化了流量控制系统与其它设备的连接。

2.采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，相应速度快，稳定可靠等特点。

3.安全性：

采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。

采用混气罐装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄露。

技术参数：

1.气路数量：三路

2.流量控制方式：自动控制

3.连接方式：双卡套接头

4.流量计：质量流量计

5.流量范围：0-500sccm（标准毫升/分）氮气标定

6.精度：±1%F.S

7.响应时间：≤4s

8.工作温度：5-45℃

9.工作压力：进气压力0.05-0.3Mpa（表压力）

10.外形尺寸：770*580*778

11.外包装尺寸：930*740*863

12.重量：57kg

13.标准配件：PUφ6管/每路2米φ4x15mm不锈钢衬管5个