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氦离子气相色谱仪对纯氦、高纯氦和超纯氦中痕量杂质的检测
1、检测项目
| 项目 | 指标 | |||
| 纯氦 | 高纯氦 | 超纯氦 | ||
| 氦气（He）纯度（体积分数）/10-2 | 99.99 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| 氖气（Ne）纯度（体积分数）/10-6 | 40 | 15 | 4 | 1 |
| 氢气（H2）纯度（体积分数）/10-6 | 7 | 3 | 1 | 0.1 |
| (氧气（O2）+氩（Ar)）纯度（体积分数）/10-6 | 5 | 3 | 1 | 0.1 |
| 氮气（N2）纯度（体积分数）/10-6 | 25 | 10 | 2 | 0.1 |
| 一氧化碳（CO）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 二氧化碳（CO2）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 甲烷（CH4）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 水分（H2O）纯度（体积分数）/10-6 | 20 | 10 | 3 | 0.2 |
| 总杂质含量（体积分数）/10-6 | 100 | 50 | 10 | 1 |
| 一般杂质 | ||||||||
| 种类 | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO | CO2 |
| 检测限 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 500 | 25 | 5 |
| 碳氢化合物 | ||||||||
| 种类 | C2H4 | C2H6 | C3H6 | C3H8 | C4H8 | C4H10 | iC4H10 | |
| 检测限 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | |
